|
Книга является сборником материалов, написанных известными экспертами по контролю микрозагрязнений и технологической чистоте. Кратко изложены основные понятия техники чистых помещений,дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям. Значительное внимание уделено особенностям проектирования чистых помещений для микроэлектроники,производства изделий медицинской техники.
Отдельные главы посвящены конструкционным и отделочным материалам,материалам для трубопроводов и экономическим аспектам проектирования чистых производственных помещений.
|
(44.4)
